https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8838| Title: | Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения |
| Authors: | Сырцев, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектромеханические системы;МЭМС;датчики линейных ускорений |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сырцев, А. С. Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения / А. С. Сырцев // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 200. |
| Abstract: | Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, способные преобразовывать механическую энергию в электрические сигналы и наоборот. Применение технологий МЭМС позволило значительно уменьшить массово- геометрические характеристики устройств, энергопотребление и стоимость. Типичные размеры элементов устройств лежат в диапазоне от 1 до 100 микрометров. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8838 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Расчет упругих элементов.PDF | 506.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.