Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528
Title: Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода
Authors: Козак, Н. В.
Keywords: материалы конференций
ионно-плазменная модификация
твердые тела
плазма тлеющего разряда
полый катод
Issue Date: May-2013
Publisher: БГУИР
Citation: Козак, Н. В. Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода / Н. В. Козак // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сб. материалов 49-ой науч. конф. аспирантов, магистрантов и студентов учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» (Минск, 6 - 10 мая 2013 года). - Минск : БГУИР, 2013. – С. 5.
Abstract: Рассматривается возможность модификации поверхностных слоев твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе использования эффекта полого катода.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: материалы 49-й научной конференции

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Модификация поверхности.PDF490,02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.