https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528| Title: | Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода |
| Authors: | Козак, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;ионно-плазменная модификация;твердые тела;плазма тлеющего разряда;полые катоды |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Козак, Н. В. Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода / Н. В. Козак // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 5. |
| Abstract: | Рассматривается возможность модификации поверхностных слоев твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе использования эффекта полого катода. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Модификация поверхности.PDF | 490.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.