Skip navigation

Browsing by Subject микроэлектромеханические системы

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 13 to 19 of 19 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2016Научно исследовательская работа студентов при проведении Лабораторных работ по дисциплине МНЭМУБиран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В.
2010Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМСЯсюнас, А. А.; Тымощик, А. С.; Ковальчук, Н. В.; Котов, Д. А.
2015Разработка и исследование устройств автоматической калибровки на основе СВЧ микроэлектромеханических переключателей для широкополосных радиоизмерительных приборов и систем : отчет о НИР (заключ.)Гусинский, А. В.; Свирид, М. С.; Кострикин, А. М.; Гонов, А. Н.; Певнева, Н. А.; Касперович, М. М.; Боровская, М. А.; Копшай, А. А.; Дубновицкая, Т. А.
2013Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускоренияСырцев, А. С.
2017Сенсорные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминияКуцанов, А. В.
2016Способ травления полупроводниковой кремниевой подложкиБаранов, И. Л.; Табулина, Л. В.; Русальская, Т. Г.
2020Устройство регистрации параметров движения механических объектов на базе микроэлектромеханических датчиковАнтуневич, А. Л.; Ильев, И. Г.; Кривец, А. Ф.