Репозиторий БГУИР: Browsing DSpace

Browsing by Subject плазмохимическое травление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:

Showing results 6 to 10 of 10 < previous

Issue Date	Title	Author(s)
2012	Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)	Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М.
2019	Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния	Емельянов, В. В.
2019	Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния	Емельянов, В. В.; Бордусов, С. В.
2020	Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию	Емельянов, В. В.
2022	Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлением	Емельянов, В. В.

Showing results 6 to 10 of 10 < previous