Browsing by Subject МЭМС
Showing results 1 to 5 of 5
Issue Date | Title | Author(s) |
2014 | Исследование чувствительности консольных элементов на основе анодного оксида алюминия | Биран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
2017 | МЭМС технология изготовления микродвигателей для наноспутников | Бондаренко, В. П.; Долгий, А. Л.; Чубенко, Е. Б.; Редько, С. В. |
2018 | Обобщенный метод автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления микроэлектромеханических акселерометров | Невлюдов, И. Ш.; Хрусталев, К. Л.; Бортникова, В. О. |
2009 | Пористый кремний как материал для управления адгезией металлических элементов к поверхности кремния | Клышко, А. А.; Бондаренко, В. П.; Балукани, М. |
2013 | Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения | Сырцев, А. С. |