Browsing by Subject МЭМС
Showing results 1 to 7 of 7
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2014 | Исследование чувствительности консольных элементов на основе анодного оксида алюминия | Биран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
| 2017 | МЭМС технология изготовления микродвигателей для наноспутников | Бондаренко, В. П.; Долгий, А. Л.; Чубенко, Е. Б.; Редько, С. В. |
| 2018 | Обобщенный метод автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления микроэлектромеханических акселерометров | Невлюдов, И. Ш.; Хрусталев, К. Л.; Бортникова, В. О. |
| 2009 | Пористый кремний как материал для управления адгезией металлических элементов к поверхности кремния | Клышко, А. А.; Бондаренко, В. П.; Балукани, М. |
| 2024 | Разработка библиотеки системных моделей МЭМС резонаторов | Соловьев, А. А.; Певцов, Е. Ф.; Колчужин, В. А. |
| 2013 | Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения | Сырцев, А. С. |
| 2025 | Чувствительные мембранные элементы на основе пленок пористого оксида алюминия | Цаладонов, А. Д.; Биран, С. А.; Короткевич, А. В. |
