Browsing by Subject комбинированные разряды
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2026 | Влияние высоты рабочего объема плазменной камеры на процесс травления кремния | Лушакова, М. С.; Тихон, О. И.; Мадвейко, С. И. |
| 2017 | Исследование особенностей возбуждения пульсирующего комбинированного (СВЧ+НЧ поля) разряда | Лушакова, М. С.; Тихон, О. И. |
| 2008 | Исследование процесса удаления фоторезиста в плазме комбинированного разряда | Бордусов, С. В.; Шинкевич, Ю. С.; Мадвейко, С. И.; Гусев, А. Н. |
| 2017 | Исследование режимов возбуждения комбинированного разряда для плазменной обработки материалов | Прокофьев, С. С. |
| 2025 | Исследование электрических параметров низкочастотного генератора при формировании комбинированного разряда | Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Тихон, О. И. |
