Browsing by Subject кремниевая пластина
Showing results 1 to 5 of 5
Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Влияние площади поверхности кремниевых пластин на величину СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа | Сабодаш, О. А.; Пронина, М. И.; Прокофьев, С. С. |
2016 | Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии | Солодуха, В. А.; Белоус, А. И. |
2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |
2018 | Распределение температуры в токоведущих элементах интегральных схем при воздействии электромагнитного импульса длительностью до 2-х наносекунд | Пискун, Г. А.; Алексеев, В. Ф.; Денисов, А. А. |
2019 | Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П. |