Skip navigation

Browsing by Subject магнетронная распылительная система

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 5 of 5
Issue DateTitleAuthor(s)
2019Алгоритм расчета зоны плазмообразования в магнетронной распылительной системеШекелевский, В. В.; Бездников, М. С.
2003Исследование вольтамперных характеристик интегрированной ионно-плазменной системыКотов, Д. А.
2019Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металловМельников, С. Н.
2018Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоевАксючиц, А. В.; Леонович, Н. В.
2015Магнетронная распылительная система для формирования наноструктурКутько, А. Н.