Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2016 | Металлооксидные сверхрешетки из самоорганизованных столбиковых наноструктур | Плиговка, А. Н.; Горох, Г. Г. |
2013 | Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.) | Плиговка, А. Н.; Крупко, А. О.; Попичев, Е. Л. |
2022 | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Бурдовицин, В. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
2013 | Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов | Плиговка, А. Н. |
2016 | Упрочняющие композитные покрытия из столбиково-матричных наноструктур анодных оксидов алюминия и Тантала | Горох, Г. Г.; Плиговка, А. Н.; Лозовенко, А. А.; Пашечко, М. И. |
2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д.; Голосов, А. Д. |
2017 | Формирование покрытий с электретными свойствами на титановых имплантатах | Багаев, С. И.; Марков, Г. В.; Смягликов, И. П.; Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Купреева, О. В.; Лазарук, С. К.; Волочко, А. Т. |