Browsing by Subject подзатворные диэлектрики
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2024 | Влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя с рабочей стороны кремниевой пластины на электрические параметры КМОП интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Сергейчик, А. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2022 | Высоковакуумное реактивное магнетронное нанесение пленок оксида алюминия | Доан, Х. Т. |
| 2020 | Деградация характеристик МОП-структур в условиях накопления заряда в подзатворном диэлектрике на основе двуокиси кремния | Писаренко, Н. С. |
| 2023 | Механизм формирования фиксированного заряда в слое SiO2, полученном термическим окислением кремния | Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А. |
| 2018 | Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика интегральных микросхем по величине пробивного напряжения при разных скоростях развертки | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Ковальчук, Н. С.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н. |
