Browsing by Subject поликристаллический кремний
Showing results 1 to 7 of 7
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2012 | Исследование характеристик слоев поликристаллического кремния | Песецкий, П. С. |
| 2009 | Разработка технологических процессов создания солнечных элементов с контактами на основе силицида никеля | Коробко, А. О.; Соловьёв, Я. А.; Кайдов, О. Л.; Глухманчук, В. В.; Достанко, А. П. |
| 2020 | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | Емельянов, В. В. |
| 2021 | Технология селективного реактивно-ионного травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | Емельянов, В. В. |
| 2009 | Формирование мембранных датчиков расхода газа с терморезистивными чувствительными элементами | Высоцкий, В. Б. |
| 2022 | Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлением | Емельянов, В. В. |
| 2002 | Фторидно-гидридная технология получения поликристаллического солнечного кремния из продуктов переработки апатитов | Степаненко, Н. В. |
