Browsing by Subject deposition rate
Showing results 1 to 4 of 4
Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Enhanced discharge and surface properties of (Ti,AlCr)N coatings by cleaning cathodic-arc chamber | Kong, Y.; Tian, X.; Gong, C.; Golosov, D. A.; Li, M.; Tian, Q. |
2016 | The increase in thickness uniformity of films obtained by magnetron sputtering with rotating substrate | Golosov, D. A.; Melnikov, S. N.; Zavadski, S. M.; Kolos, V. V.; Okojie, J. |
2018 | Особенности нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков при высокочастотном магнетроном распылении | Окоджи, Д. Э.; Голосов, Д. А. |
2022 | Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы при реактивном магнетронном распылении металлической ванадиевой мишени на постоянном и импульсном токе | Нестерчик, Р. И. |