| Название: | Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы при реактивном магнетронном распылении металлической ванадиевой мишени на постоянном и импульсном токе |
| Другие названия: | Discharge characteristics of a magnetron sputtering system under reactive magnetron sputtering of a metal vanadium target at direct and pulsed current |
| Авторы: | Нестерчик, Р. И. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;магнетронные распылительные системы;реактивное магнетронное распыление;импульсное питание;magnetron sputtering systems;reactive magnetron sputtering;deposition rate |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Нестерчик, Р. И. Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы при реактивном магнетронном распылении металлической ванадиевой мишени на постоянном и импульсном токе / Р. И. Нестерчик // Электронные системы и технологии [Электронный ресурс] : сборник материалов 58-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18-22 апреля 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2022. – С. 466–468. – Режим доступа : https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46926. |
| Аннотация: | В статье рассматривается влияние состава газовой среды на характеристики разряда магнетрона при высоковакуумном реактивном магнетронном распылении. Представленные зависимости скорости нанесения пленок оксида ванадия от процентного содержания кислорода в смеси газов аргон/кислород для различных режимов при распыление на постоянном токе и при импульсном распылении. The article considers the influence of the composition of the gaseous medium on the characteristics of the magnetron discharge during high-vacuum reactive magnetron sputtering. The presented dependences of the deposition rate of vanadium oxide films on the percentage of oxygen in the argon/oxygen gas mixture for different modes during DC and pulsed sputtering. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47255 |
| Располагается в коллекциях: | Электронные системы и технологии : материалы 58-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2022)
|
