Browsing by Author Тимошков, В. Ю.
Showing results 1 to 6 of 6
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2015 | Разработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
| 2014 | Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
| 2015 | Разработка технологии прецизионных трехмерных структур на основе градиентной литографии сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и электрохимического осаждения для технологий массового производства микроэлементов : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
| 2014 | Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
| 2014 | Технологии формирования наноразмерных структур для применения в дисплейных и оптических устройствах | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
| 2014 | Устройство для определения местоположения подвижного микрообъекта | Тимошков, Ю. В.; Тимошков, В. Ю.; Сакова, А. А.; Курмашев, В. И. |
