https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2061| Title: | Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием |
| Other Titles: | Conditions for the formation of nanoclusters during the preparation of nanostuctured films of polycrystalline silicon doped with germanium |
| Authors: | Строгова, Н. С. Строгова, А. С. Ковалевский, А. А. Борисевич, В. М. Плякин, Д. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;нанокластеры;формирование наноструктурированных пленок кремния;самоорганизация нанокластеров |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием / Н. С. Строгова [и др.] // Доклады БГУИР. - 2011. - № 8 (62). - С. 65 - 71. |
| Abstract: | Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры пленок, поликристаллического кремния, легированного германием, полученных разложением смеси моносилан – моногерман – водород. Изменение структуры Ge и SiGe-кластеров анализировалось на основании данных спектроскопии комбинационного рассеяния света. Также проанализированы зависимости роста пленок от полного давления в реакторе и парциального давления моносилана. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2061 |
| Appears in Collections: | №8 (62) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Strogova_Usloviya.PDF | 619.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.