Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2061
Title: Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием
Other Titles: Conditions for the formation of nanoclusters during the preparation of nanostuctured films of polycrystalline silicon doped with germanium
Authors: Строгова, Н. С.
Строгова, А. С.
Ковалевский, А. А.
Борисевич, В. М.
Плякин, Д. В.
Keywords: доклады БГУИР;нанокластеры;формирование наноструктурированных пленок кремния;самоорганизация нанокластеров
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР
Citation: Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием / Н. С. Строгова [и др.] // Доклады БГУИР. - 2011. - № 8 (62). - С. 65 - 71.
Abstract: Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры пленок, поликристаллического кремния, легированного германием, полученных разложением смеси моносилан – моногерман – водород. Изменение структуры Ge и SiGe-кластеров анализировалось на основании данных спектроскопии комбинационного рассеяния света. Также проанализированы зависимости роста пленок от полного давления в реакторе и парциального давления моносилана.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2061
Appears in Collections:№8 (62)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Strogova_Usloviya.PDF619.94 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.