Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25037
Title: Информационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур
Authors: Емельянов, А. В.
Keywords: авторефераты диссертаций
интегральные микросхемы (ИМС)
тестовые структуры
показатели надежности
прогнозирование отказов
дефекты
диэлектрические слои
металлизация
integrated microcircuits (IC)
test structures
reliability index
rejects forecasting
defects
dielectric layers
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР
Citation: Емельянов, А. В. Информационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. В. Емельянов; науч. рук. А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2012. - 25 с.
Abstract: Цель работы: разработка конструкций и технологических процессов создания тестовых полупроводниковых структур, информационно-параметрических методов и средств определения закономерностей формирования структуры и свойств функциональных слоев и заданных эксплуатационных параметров субмикронных микросхем на этапах их изготовления в условиях серийного производства.Research purpose: developing the design and technological processes of creating test semiconductor structures, information - parametric methods and means of determining correlation of forming structure and characteristics of the functional layers and the given operating parameters of submicron microcircuits in their manufacture stages under the conditions of mass production.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25037
Appears in Collections:05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emelyanov_Info.pdf1,36 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.