https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30791| Title: | Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений |
| Other Titles: | Local electrochemical anodization for making multilevel interconnection systems |
| Authors: | Воробьева, А. И. Сокол, В. А. Паркун, В. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодирование;алюминиевая дорожка;профиль;межсоединения |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Воробьева, A. И. Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений / A. И. Воробьева, В. А. Сокол, В. М. Паркун // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 83 - 91. |
| Abstract: | Рассмотрен метод локального электрохимического анодирования, позволяющий уменьшить искажение размера тонкопленочных структур при переносе изображения до 10–15 %. Получены алюминиевые дорожки с квазианизотропным профилем, имеющие импеданс 50±5 Ω и степень планаризации 95 %. |
| Alternative abstract: | The method of local electrochemical anodization, permitting to reduce the skew of the thin-film structures sizes during patterning up to 10–15 % is considered. The aluminium lines with quasianisotropic lateral profile having an impedance about 50±5 Ω and surface planarity extent of 95 % are Obtained. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30791 |
| Appears in Collections: | №1 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vorobyeva_Lokalnoye.pdf | 395.48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.