Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30791
Title: Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений
Other Titles: Local electrochemical anodization for making multilevel interconnection systems
Authors: Воробьева, А. И.
Сокол, В. А.
Паркун, В. М.
Keywords: доклады БГУИР;анодирование;алюминиевая дорожка;профиль;межсоединения
Issue Date: 2003
Publisher: БГУИР
Citation: Воробьева, A. И. Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений / A. И. Воробьева, В. А. Сокол, В. М. Паркун // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 83 - 91.
Abstract: Рассмотрен метод локального электрохимического анодирования, позволяющий уменьшить искажение размера тонкопленочных структур при переносе изображения до 10–15 %. Получены алюминиевые дорожки с квазианизотропным профилем, имеющие импеданс 50±5 Ω и степень планаризации 95 %.The method of local electrochemical anodization, permitting to reduce the skew of the thin-film structures sizes during patterning up to 10–15 % is considered. The aluminium lines with quasianisotropic lateral profile having an impedance about 50±5 Ω and surface planarity extent of 95 % are obtained.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30791
Appears in Collections:№1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vorobyeva_Lokalnoye.pdf395.48 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.