https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874| Title: | Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Котов, Д. А. Корзун, К. А. Ясюнас, А. А. Гранько, С. В. |
| Keywords: | публикации ученых;алмазоподобные углеродные покрытия;ВЧ-мощности |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУ |
| Citation: | Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда / А. А. Ковалевский и др. // Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Международной научной конференции, Минск, 10–12 октября 2018 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск: БГУ, 2018. – С. 255 – 261. |
| Abstract: | Исследованы кинетика роста и оптические свойства алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость осаждения и оптические свойства наноструктурированных алмазоподобных покрытий в высокоплотной плазме индукционного разряда, являются: тип прекурсоров, качество исходной подложки, общее давление газовой смеси, парциальное давление каждого из прекурсоров и величина подводимой к разряду ВЧ-мощности. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Issledovaniye.PDF | 104.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.