Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874
Title: Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда
Authors: Ковалевский, А. А.
Котов, Д. А.
Корзун, К. А.
Ясюнас, А. А.
Гранько, С. В.
Keywords: публикации ученых;алмазоподобные углеродные покрытия;ВЧ-мощности
Issue Date: 2018
Publisher: БГУ, Минск
Citation: Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда / А. А. Ковалевский и др. // Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Международной научной конференции, Минск, 10–12 октября 2018 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск: БГУ, 2018. – С. 255 – 261.
Abstract: Исследованы кинетика роста и оптические свойства алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость осаждения и оптические свойства наноструктурированных алмазоподобных покрытий в высокоплотной плазме индукционного разряда, являются: тип прекурсоров, качество исходной подложки, общее давление газовой смеси, парциальное давление каждого из прекурсоров и величина подводимой к разряду ВЧ-мощности.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Issledovaniye.PDF104.99 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.