Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37997
Title: Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС
Other Titles: Algorithmic support for optical inspection of critical dimensions on vlsi semiconductor wafers
Authors: Дудкин, А. А.
Воронов, А. А.
Ганченко, В. В.
Инютин, А. В.
Марушко, Е. Е.
Doudkin, A. A.
Voronov, A. A.
Ganchenko, V. V.
Inutin, A. V.
Marushko, E. E.
Keywords: материалы конференций
полупроводниковые пластины
оптический контроль
цифровые изображения
semiconductor chips
optical inspection
digital images
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС / Дудкин А. А. [и др.] // Телекоммуникации: сети и технологии, алгебраическое кодирование и безопасность данных = Telecommunications: Networks and Technologies, Algebraic Coding and Data Security : материалы международного научно-технического семинара, Минск, ноябрь-декабрь 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; ред. Бобов М. Н. [и др.]. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 34–38.
Abstract: Приводится описание алгоритмического обеспечения программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС на базе систем компьютерного зрения. The description of algorithmic maintenance of the program complex of control equipment of the critical dimensions of semiconductor wafer plates on the basis of computer vision systems was given.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37997
Appears in Collections:Телекоммуникации 2019

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Dudkin_Algoritmicheskoye.pdf703,32 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.