| Title: | Автоматизированный контроль процесса формирования переходных отверстий в кремниевых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева |
| Other Titles: | Automated control of the process formation of transition holes in silicon substrates through laser and infrared heating |
| Authors: | Лаппо, А. И. |
| Keywords: | материалы конференций;автоматизированный контроль;микроконтроллеры;automated control;microcontrollers |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лаппо, А. И. Автоматизированный контроль процесса формирования переходных отверстий в кремниевых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева = Automated control of the process formation of transition holes in silicon substrates through laser and infrared heating / А. И. Лаппо // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 204–207. |
| Abstract: | Автоматизированный контроль процесса формирования переходных отверстий в кремниевых подложках 3D структур по технологии TSV посредством лазерного излучения и инфракрасного нагрева в средневолновом диапазоне при помощи микроконтроллерного устройства позволяет повысить точность проводимых опытов, упростить сбор данных необходимых для последующего анализа и ля установления оптимальных параметров технологического процесса. Automated control of the process of forming vias into silicon substrates for the formation of 3D structures using TSV technology by means of laser radiation and infrared heating in the medium wavelength range, using a microcontroller device, makes it possible to increase the accuracy of the experiments, simplify the collection of data necessary for the subsequent analysis necessary to establish the optimal parameters of the technological process. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43463 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
