Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/476
Title: Особенности формирования диоксида титана в пористом кремнии р-типа проводимости
Authors: Денисов, Н. М.
Борисенко, В. Е.
Keywords: золь-гель метод
диоксид титана
материалы конференций
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Денисов, Н. М. Особенности формирования диоксида титана в пористом кремнии р-типа проводимости // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014.-С. 40-41
Abstract: Получены структуры пористый кремний/диоксид титана по золь-гель технологии, в которых пористый кремний был сформирован на монокристаллических кремниевых пластинах с p-типом проводимости, а диоксид титана был получен из Ti-cодержащего золя.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/476
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Микро- и наноэлектроника»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
особенности формирования.pdf845,14 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.