https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/476| Title: | Особенности формирования диоксида титана в пористом кремнии р-типа проводимости |
| Authors: | Денисов, Н. М. Борисенко, В. Е. |
| Keywords: | золь-гель метод;диоксид титана;материалы конференций |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Денисов, Н. М. Особенности формирования диоксида титана в пористом кремнии р-типа проводимости / Н. М. Денисов, В. Е. Борисенко // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – Ч. 2. – C. 40–41. |
| Abstract: | Получены структуры пористый кремний/диоксид титана по золь-гель технологии, в которых пористый кремний был сформирован на монокристаллических кремниевых пластинах с p-типом проводимости, а диоксид титана был получен из Ti-cодержащего золя. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/476 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| особенности формирования.pdf | 845.14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.