https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53685| Title: | Формирование отверстий в полупроводниковых материалах лазерной микрообработкой |
| Authors: | Ланин, В. Л. Петухов, И. Б. Ретюхин, Г. Е. |
| Keywords: | публикации ученых;лазерные излучения;полупроводниковые подложки;микрообработка |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Институт прикладной физики |
| Citation: | Ланин, В. Л. Формирование отверстий в полупроводниковых материалах лазерной микрообработкой / В. Л. Ланин, И. Б. Петухов, Г. Е. Ретюхин // Электронная обработка материалов. – 2022. – Т. 58, №6. – С. 73–79. |
| Abstract: | Исследован процесс лазерного формирования микроотверстий в полупроводниковых подложках на установке лазерной обработки ЭМ-4452-1 с частотой следования импульсов пикосекундного лазера от 10 до 300 кГц при энергии излучения до 10 мкДж. Сочетание высокоскоростных перемещений лазерного луча системой гальваносканера и точного позиционирования обрабатываемого материала повышает эффективность лазерной микрообработки и расширяет функциональные возможности оборудования. |
| Alternative abstract: | The process of laser formation of microholes in semiconductor substrates using an EM-4452-1 laser processing unit with a pulse repetition rate of a picosecond laser from 10 to 300 kHz at a radiation energy of up to 10 µJ was investigated. The combination of high-speed movements of the laser beam by the galvanoscanner system and precise positioning of the processed material increases the efficiency of laser microprocessing and expands the functionality of the equipment. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53685 |
| DOI: | https://doi.org/10.52577/eom.2022.58.6.73 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Formirovanie.pdf | 377.43 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.