| Title: | Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок |
| Other Titles: | Producing of thin film submicron patterns by lift-off lithography using metal and oxide masks |
| Authors: | Прудник, А. М. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;обратная литография;обратные маски;субмикронные размеры;lift-off lithography;lift-off masks;submicron dimensions |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Прудник А. М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. М. Прудник; науч. рук. Л. М. Лыньков. - Мн.: БГУИР, 2002. - 21 с. |
| Abstract: | Целью работы является разработка конструкторско-технологических методов и средств обратной литографии с использованием тонких маскирующих пленок металлов и оксидов на их основе. |
| Alternative abstract: | The aim of the work is to research influence of low-temperature and high-temperature treatment conditions on thin films of different metals and their oxides on local modification, electrochemical and thermal oxidation for using them as masks for lift-off lithography to produce patterns of submicron dimensions |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5424 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
