Browsing by Author Борисевич, В. М.
Showing results 1 to 4 of 4
Issue Date | Title | Author(s) |
2011 | Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием | Строгова, Н. С.; Строгова, А. С.; Ковалевский, А. А.; Цыбульский, В. В.; Власукова, Л. А.; Борисевич, В. М. |
2004 | Исследование и оптимизация процесса осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием как изовалентной примесью | Борисевич, В. М.; Ковалевский, А. А.; Нелаев, В. В.; Малышев, В. С.; Стемпицкий, В. Р. |
2011 | Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме | Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Строгова, Н. С.; Борисевич, В. М. |
2011 | Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием | Строгова, Н. С.; Строгова, А. С.; Ковалевский, А. А.; Борисевич, В. М.; Плякин, Д. В. |