| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2021 | Автоматизированный контроль процесса прошивки отверстий в кремневых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева | Лаппо, А. И.; Терентьева, Г. А.; Шубелько, Ю. А. |
| 2022 | Анодно-оксидная наноструктура, сформированная анодированием двухслойнной системы Al/Nb, для приборных приложений СВЧ трубчатой калориметрии | Гога, А. В.; Тумилович, А. А.; Позняк, А. А.; Завадский, С. М.; Бычек, И. В.; Плиговка, А. Н. |
| 2017 | Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках | Щадинская, Д. А. |
| 2010 | Способ травления кремниевой подложки | Баранов, И. Л.; Табулина, Л. В.; Русальская, Т. Г.; Звонова, О. С. |
| 2016 | Способ травления полупроводниковой кремниевой подложки | Баранов, И. Л.; Табулина, Л. В.; Русальская, Т. Г. |
| 2021 | Структура, оптические и фононные свойства эпитаксиальных пленок Ca2Si и CaSi2 на кремниевых подложках | Кропачев, О. В.; Чернев, И. М.; Галкин, К. Н.; Алексеев, А. Ю. |
| 2024 | Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
| 2023 | Устойчивость пленок графитоподобного нитрида углерода в жидких средах | Морозова, Д. Д.; Максимов, С. Е.; Борисенко, В. Е. |
