Browsing by Subject магнетронные распылительные системы
Showing results 1 to 7 of 7
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2022 | Влияние временных характеристик импульсного питания на дугообразование и стабильность процесса при реактивном магнетронном распылении | Нестерчик, Р. И. |
| 2015 | Компьютерное моделирование разряда в скрещенных ExH полях магнетронных распылительных систем | Карбанович, Б. О. |
| 2020 | Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы | Шекелевский, В. В.; Бездников, М. С. |
| 2020 | Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства | Бездников, М. С.; Шекелевский, В. В. |
| 2021 | Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло | Шекелевский, В. В.; Бездников, М. С. |
| 2022 | Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы при реактивном магнетронном распылении металлической ванадиевой мишени на постоянном и импульсном токе | Нестерчик, Р. И. |
| 2021 | Формирование и исследование характеристик терморезистивных структур на основе пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В.; Толочко, Н. К. |
