Репозиторий БГУИР: Browsing DSpace

Browsing by Subject нитрид кремния

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:

Showing results 1 to 9 of 9

Issue Date	Title	Author(s)
2012	Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханнческих систем и полупроводниковых приборов	Ковальчук, Н. С.
2009	Оптимизированная конструкция датчика газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением	Рубцевич, И. И.; Ковальчук, Н. С.
2017	Роль исходной поверхности подложки при формировании нанокластеров кремния	Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Гранько, С. В.
2020	Свойства пленок нитрида кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы	Николаенко, С. П.; Леонович, Н. В.
2019	Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния	Емельянов, В. В.; Бордусов, С. В.
2020	Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию	Емельянов, В. В.
2022	Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлением	Емельянов, В. В.
2009	Формирование мембранных датчиков расхода газа с терморезистивными чувствительными элементами	Высоцкий, В. Б.
2022	Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлением	Емельянов, В. В.

Showing results 1 to 9 of 9