Browsing by Subject полупроводниковые пластины
Showing results 1 to 7 of 7
Issue Date | Title | Author(s) |
2015 | Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах | Плебанович, В. И. |
2019 | Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС | Дудкин, А. А.; Воронов, А. А.; Ганченко, В. В.; Инютин, А. В.; Марушко, Е. Е. |
2015 | Безмасковая литография – требование сегодняшнего дня | Плебанович, В. И. |
2023 | Влияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластины | Бондаренко, А. С.; Иванов, И. А. |
2020 | Исследование нагрева полупроводниковых пластин в СВЧ резонаторе прямоугольного типа | Левданский, А. С.; Страхович, В. И. |
1984 | Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине | Лабунов, В. А.; Квасов, Н. Т.; Полонин, А. К.; Корешков, Г. А.; Прохоренко, Н. Л.; Карпов, В. Е. |
1986 | Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин | Полонин, А. К.; Дидковский, В. С.; Музыченко, О. М.; Квасов, Н. Т.; Прохоренко, Н. Л. |