Browsing by Subject полупроводниковые пластины
Showing results 1 to 8 of 8
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2015 | Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах | Плебанович, В. И. |
| 2019 | Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС | Дудкин, А. А.; Воронов, А. А.; Ганченко, В. В.; Инютин, А. В.; Марушко, Е. Е. |
| 2015 | Безмасковая литография – требование сегодняшнего дня | Плебанович, В. И. |
| 2023 | Влияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластины | Бондаренко, А. С.; Иванов, И. А. |
| 2020 | Исследование нагрева полупроводниковых пластин в СВЧ резонаторе прямоугольного типа | Левданский, А. С.; Страхович, В. И. |
| 2026 | Разработка конфигурации системы освещения автоматических зондовых установок | Грицкевич, Г. И.; Пашкевич, В. Э.; Смолкин, Ю. А.; Жук, Р. С.; Лешко, А. С.; Ловшенко, И. Ю. |
| 1984 | Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине | Лабунов, В. А.; Квасов, Н. Т.; Полонин, А. К.; Корешков, Г. А.; Прохоренко, Н. Л.; Карпов, В. Е. |
| 1986 | Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин | Полонин, А. К.; Дидковский, В. С.; Музыченко, О. М.; Квасов, Н. Т.; Прохоренко, Н. Л. |
