Browsing by Subject фоторезист
Showing results 1 to 6 of 6
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2013 | Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев | Мадвейко, С. И. |
| 2015 | Исследование динамики процесса СВЧ плазменного удаления фоторезистивных защитных пленок в технологии интегральных микросхем | Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И. |
| 2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
| 2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспонированных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
| 2011 | Новый метод управления профилем боковых стенок фоторезистов | Агейченко, А. С.; Матюшков, В. Е. |
| 1979 | Способ изготовления магнитной головки | Сурганов, В. Ф. |
