Issue Date | Title | Author(s) |
2012 | Активация процесса реактивного ионно-лучевого распыления | Ковалева, А. П. |
2014 | Модификация поверхности гибких полимерных материалов ускоренными потоками химически активных и инертных газообразных сред и исследование их свойств : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Коробко, А. О.; Гуревич, О. В.; Вашуров, А. Ю.; Ковалева, А. П. |
2014 | Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Коробко, А. О.; Гуревич, О. В.; Римша, А. В.; Ковалева, А. П. |
2014 | Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Вашуров, А. Ю.; Ковалева, А. П. |
2014 | Разработка и исследование плазменных источников электронов для инициирования и поддержания разряда ионных источников, разработка процессов синтеза функциональных тонкопленочных покрытий прямым осаждением из высокоэнергетичных ионных потоков : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Завадский, С. М.; Телеш, Е. В.; Голосов, Д. А.; Вашуров, А. Ю.; Ковалева, А. П. |
2014 | Разработка материалов и процессов ионно-лучевого синтеза для формирования термостабильных токопроводящих систем интегральных схем : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Ковалева, А. П. |
2015 | Разработка процессов формирования функциональных тонкопленочных покрытий на полимерных подложках для изделий оптики и оптоэлектроники : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Гуревич, О. В.; Ковалева, А. П.; Симаньков, А. А. |
2016 | Функциональные тонкопленочные покрытия на полимерных подложках для изделий оптики и оптоэлектроники | Ковалева, А. П. |