Skip navigation
Home
Browse
Browse Items by:
Issue Date
Author
Title
Subject
Communities & Collections
Lang
русский
English
Log in:
My DSpace
Receive email
updates
Edit Profile
Репозиторий БГУИР
Browsing by Subject магнетронное распыление
Jump to:
0-9
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
А
Б
В
Г
Д
Е
Ж
З
И
Й
К
Л
М
Н
О
П
Р
С
Т
У
Ф
Х
Ц
Ч
Ш
Щ
Ъ
Ы
Ь
Э
Ю
Я
or enter first few letters:
Sort by:
title
issue date
submit date
In order:
Ascending
Descending
Results/Page
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
Authors/Record:
All
1
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
Showing results 1 to 20 of 27
next >
Issue Date
Title
Author(s)
2007
Аналитическое исследование совместного функционирования торцевого холловского ускорителя и магнетронной распылительной системы
Свадковский, И. В.
2023
Влияние легирования титаном на диэлектрические характеристики пленок оксида циркония
Доан, Т. Х.
2021
Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления
Шекелевский, В. В.
2023
Влияние рассеяния заряженных частиц на рабочем газе на профиль выработки мишени при магнетронном распылении
Шекелевский, В. В.
;
Котов, Д. А.
2023
Влияние расстояния мишень – подложка на равномерность толщины пленок тантала, наносимых цилиндрической магнетронной распылительной системой
Чан, Д. Н. Х.
;
Доан, Х. Т.
2023
Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия
Доан, Х. Т.
;
Голосов, Д. А.
;
Джанг, Дж.
;
Кананович, Н. А.
;
Завадский, С. М.
;
Мельников, С. Н.
2022
Высоковакуумное реактивное магнетронное нанесение пленок оксида алюминия
Доан, Х. Т.
2024
Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленок
Достанко, А. П.
;
Мадвейко, С. И.
;
Телеш, Е. В.
;
Мельников, С. Н.
;
Завадский, С. М.
;
Голосов, Д. А.
2015
Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления
Ермоленко, М. В.
;
Достанко, А. П.
;
Голосов, Д. А.
;
Завадский, С. М.
2021
Исследование влияния отжига на механические и трибологические характеристики пленок нитрида титана-циркония
Лам, Н. Н.
2014
Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении
Мельников, С. Н.
;
Голосов, Д. А.
;
Завадский, С. М.
;
Достанко, А. П.
;
Кундас, С. П.
;
Тонконогов, Б. А.
2020
Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 мм
Голосов, А. Д.
2020
Исследование электрофизических свойств пленок оксида тантала, формируемых методом магнетронного распыления
Литвин, Э. Е.
2005
Конструктивно-технологические методы формирования тонкопленочных элементов кремниевых диодов шоттки с повышенной воспроизводимостью свойств в серийном производстве
Соловьев, Я. А.
2023
Магнетронная распылительная система с вращающейся магнитной системой для нанесения тонких пленок на стационарную подложку
Нгуен, В. Т. А.
2010
Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишени
Кирия, Л. Т.
;
Котов, Д. А.
;
Родионов, Ю. А.
2016
Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления
Мельников, С. Н.
;
Голосов, Д. А.
;
Завадский, С. М.
;
Окоджи, Д. Э.
;
Рубан, Г. М.
;
Котинго, Д. Д.
2012
Разработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней : отчет о НИР (заключ.)
Завадский, С. М.
;
Голосов, Д. А.
;
Руденко, М. В.
2012
Разработка и исследование композиционных тонких пленок на основе легированного оксида циркония для использования в качестве твердого электролита твердооксидных топливных элементов : отчет о НИР (заключ.)
Достанко, А. П.
;
Голосов, Д. А.
;
Завадский, С. М.
2015
Разработка процессов формирования функциональных тонкопленочных покрытий на полимерных подложках для изделий оптики и оптоэлектроники : отчет о НИР (заключ.)
Достанко, А. П.
;
Телеш, Е. В.
;
Гуревич, О. В.
;
Ковалева, А. П.
;
Симаньков, А. А.