Browsing by Subject ионная имплантация
Showing results 1 to 8 of 8
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2020 | Влияние моментов высокого порядка на пространственное распределение концентрации ионно-имплантированной примеси | Гранько, С. В.; Короткевич, А. В. |
| 2007 | Микроструктура соединений кремния с переходными металлами | Коробко, А. О. |
| 2020 | Моделирование и расчет пространственного распределения концентрации ионно-имплантированной примеси | Гранько, С. В.; Короткевич, А. В. |
| 2015 | Низкотемпературный магнетизм оксида цинка, имплантированного ионами 3d-металлов | Лукашевич, М. Г. |
| 2026 | Применение метода Монте-Карло при моделировании технологического маршрута формирования кремниевых приборных структур с проектными нормами 90 НМ | Новиков, Ф. П.; Пашкевич, В. Э.; Ветошкин, В. В.; Якуш, В. С.; Волчёк, В. С.; Ловшенко, И. Ю. |
| 2026 | Сравнительный анализ аналитических и статистических моделей ионной имплантации, реализованных в системах автоматизированного проектирования микроэлектроники | Курленко, А. Д.; Громыко, В. А.; Ловшенко, И. Ю.; Биран, С. А. |
| 2017 | Структура переходного слоя, формирующегося в системе Mo-Si при имплантации ионов Р+ через пленку молибдена | Снитовский, Ю. П.; Ходарина, Л. П. |
| 2009 | Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров | Плебанович, В. И. |