Skip navigation

Browsing by Subject ионная имплантация

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 8 of 8
Issue DateTitleAuthor(s)
2020Влияние моментов высокого порядка на пространственное распределение концентрации ионно-имплантированной примесиГранько, С. В.; Короткевич, А. В.
2007Микроструктура соединений кремния с переходными металламиКоробко, А. О.
2020Моделирование и расчет пространственного распределения концентрации ионно-имплантированной примесиГранько, С. В.; Короткевич, А. В.
2015Низкотемпературный магнетизм оксида цинка, имплантированного ионами 3d-металловЛукашевич, М. Г.
2026Применение метода Монте-Карло при моделировании технологического маршрута формирования кремниевых приборных структур с проектными нормами 90 НМНовиков, Ф. П.; Пашкевич, В. Э.; Ветошкин, В. В.; Якуш, В. С.; Волчёк, В. С.; Ловшенко, И. Ю.
2026Сравнительный анализ аналитических и статистических моделей ионной имплантации, реализованных в системах автоматизированного проектирования микроэлектроникиКурленко, А. Д.; Громыко, В. А.; Ловшенко, И. Ю.; Биран, С. А.
2017Структура переходного слоя, формирующегося в системе Mo-Si при имплантации ионов Р+ через пленку молибденаСнитовский, Ю. П.; Ходарина, Л. П.
2009Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеровПлебанович, В. И.