Skip navigation

Browsing by Subject магнетронное распыление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 20 of 27  next >
Issue DateTitleAuthor(s)
2007Аналитическое исследование совместного функционирования торцевого холловского ускорителя и магнетронной распылительной системыСвадковский, И. В.
2023Влияние легирования титаном на диэлектрические характеристики пленок оксида цирконияДоан, Т. Х.
2021Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыленияШекелевский, В. В.
2023Влияние рассеяния заряженных частиц на рабочем газе на профиль выработки мишени при магнетронном распыленииШекелевский, В. В.; Котов, Д. А.
2023Влияние расстояния мишень – подложка на равномерность толщины пленок тантала, наносимых цилиндрической магнетронной распылительной системойЧан, Д. Н. Х.; Доан, Х. Т.
2023Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминияДоан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Кананович, Н. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.
2022Высоковакуумное реактивное магнетронное нанесение пленок оксида алюминияДоан, Х. Т.
2024Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленокДостанко, А. П.; Мадвейко, С. И.; Телеш, Е. В.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.
2015Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыленияЕрмоленко, М. В.; Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.
2021Исследование влияния отжига на механические и трибологические характеристики пленок нитрида титана-цирконияЛам, Н. Н.
2014Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распыленииМельников, С. Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Достанко, А. П.; Кундас, С. П.; Тонконогов, Б. А.
2020Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 ммГолосов, А. Д.
2020Исследование электрофизических свойств пленок оксида тантала, формируемых методом магнетронного распыленияЛитвин, Э. Е.
2005Конструктивно-технологические методы формирования тонкопленочных элементов кремниевых диодов шоттки с повышенной воспроизводимостью свойств в серийном производствеСоловьев, Я. А.
2023Магнетронная распылительная система с вращающейся магнитной системой для нанесения тонких пленок на стационарную подложкуНгуен, В. Т. А.
2010Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишениКирия, Л. Т.; Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.
2016Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыленияМельников, С. Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Окоджи, Д. Э.; Рубан, Г. М.; Котинго, Д. Д.
2012Разработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней : отчет о НИР (заключ.)Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.; Руденко, М. В.
2012Разработка и исследование композиционных тонких пленок на основе легированного оксида циркония для использования в качестве твердого электролита твердооксидных топливных элементов : отчет о НИР (заключ.)Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.
2015Разработка процессов формирования функциональных тонкопленочных покрытий на полимерных подложках для изделий оптики и оптоэлектроники : отчет о НИР (заключ.)Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Гуревич, О. В.; Ковалева, А. П.; Симаньков, А. А.