Skip navigation

Browsing by Author Солодуха, В. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:  
Showing results 22 to 27 of 27 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2019Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техникиСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П.
2018Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.
2018Технологии субмикронных структур микроэлектроникиДостанко, А. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Купо, А. Н.; Ланин, В. Л.; Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Солодуха, В. А.; Телеш, Е. В.
2021Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработкиКовальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шестовский, Д. В.
2018Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика интегральных микросхем по величине пробивного напряжения при разных скоростях разверткиСолодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Ковальчук, Н. С.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.
2020Электронномикроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработкеСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А.