Browsing  by Author Вилья, Н.
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
		Showing results 1 to 6 of 6
	
	
	
    
    
	
| Issue Date | Title | Author(s) | 
| 2018 | Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния | Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Вилья, Н.; Грехов, М. М.; Колос, В. В. | 
| 2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. | 
| 2017 | Формирование пленок оксида гафния методом реактивного магнетронного распыления | Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Вилья, Н. | 
| 2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д.; Голосов, А. Д. | 
| 2019 | Формирование пленок оксида титана  методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. | 
| 2017 | Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Окоджи, Д. Э. |