Skip navigation

Browsing by Author Лушакова, М. С.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я or enter first few letters:  
Showing results 1 to 18 of 18
Issue DateTitleAuthor(s)
2018Investigation of method of dynamic microwave power redistribution in a resonator-type plasmatronMadveika, S.; Bordusau, S.; Zemlyakov, A.; Lushakova, M.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Земляков, А. Л.; Лушакова, М. С.
2015Анализ условий возбуждения свч-разряда низкого вакуума в плазмотроне резонаторного типаМадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С.
2018Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического примененияХамицевич, Е. Ю.; Лушакова, М. С.
2018Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленокБельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С.
2015Исследование влияния режимов импульсного электропитания и конструктивных особенностей на скорость нагрева верхней пластины полого катода планарного типа для тлеющего разряда с эффектом полого катодаМадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.
2015Исследование влияния режимов импульсного электропитания на величину потенциала пространства над полым катодом планарного типа в случае тлеющего разряда с эффектом полого катодаМадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.; Бордусов, С. В.
2017Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2014Исследование неоднородности электрофизических характеристик СВЧ разрядной системы резонаторного типаЛушакова, М. С.
May-2017Исследование особенностей возбуждения пульсирующего комбинированного (СВЧ+НЧ поля) разрядаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2018Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в N2 в трубчатом электродеБожко, А. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.
2017Исследование распределения СВЧ энергии в объеме разрядной камеры СВЧ плазмотронаПронина, М. И.; Земляков, А. С.; Лушакова, М. С.
2015Исследование характеристик возбуждения и поддержания плазмы низкочастотного тлеющего разряда Е-типа в среде О2Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С.
2016Материалы, технологические процессы и устройства радиоэлектронной, электронно-оптической и медицинской техники : отчет о НИР (заключ.)Достанко, А. П.; Гурский, Л. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Плебанович, В. И; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.; Марченков, В. А.; Завадский, С. М.; Ермоленко, М. В.; Василевич, В. П.; Коробко, А. О.
2014Оптико-спектроскопические характеристики комплексированного разряда в СВЧ плазмотроне на базе волноводно-щелевого аппликатораБордусов, С. В.; Лушакова, М. С.
May-2013Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разрядаЛушакова, М. С.
2017Особенности электрических режимов возбуждения разряда комбинированными (СВЧ и НЧ) полямиТихон, О. И.; Лушакова, М. С.
2017Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2018Технологии субмикронных структур микроэлектроникиДостанко, А. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Купо, А. Н.; Ланин, В. Л.; Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Солодуха, В. А.; Телеш, Е. В.