Skip navigation

Browsing by Author Родионов, Ю. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:  
Showing results 1 to 8 of 8
Issue DateTitleAuthor(s)
2017Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособиеРодионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.; Ковальчук, Н. С.
2007Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч.Родионов, Ю. А.
2011Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособиеКотов, Д. А.; Родионов, Ю. А.
2010Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишениКирия, Л. Т.; Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.
2019Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства : учеб. пособиеРодионов, Ю. А.
2012Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М.
2017Специфика преподавания инженерных дисциплин по микросенсорикеРодионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.
2020Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособиеКотов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С.