| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2014 | Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов | Титко, Е. А.; Титко, Д. С. |
| 2026 | Алгоритм фильтрации Калмана для очистки сигнала фотоэлектронных датчиков в условиях вибраций литографического оборудования | Ахметзянов, Г. Д. |
| 2026 | Анализ особенностей применения сверхвысокочастотной плазмы для удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин | Коваленко, И. А. |
| 2017 | Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие | Родионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.; Ковальчук, Н. С. |
| 2008 | Лазерные растровые сканирующие генераторы изображений в производстве дисплеев | Баранов, И. Л.; Тымощик, А. С.; Черных, А. Г.; Зимин, А. Б. |
| 2012 | Люминесценция пленок оксида алюминия и перспективы их использования в планарных микроструктурах нанофотоники | Хорошко, Л. С.; Ореховская, Т. И.; Меледина, М. В.; Николаенко, И. А.; Кочев, А. С.; Ашариф, А. М.; Колосницын, Б. С.; Гапоненко, Н. В.; Мудрый, А. В. |
| 2011 | Новый метод управления профилем боковых стенок фоторезистов | Агейченко, А. С.; Матюшков, В. Е. |
| 2025 | Производство процессоров: от кремниевой пластины до логики | Биюмен, Е. А.; Макареня, Е. А. |
| 2019 | Светодиодная ультрафиолетовая установка экспонирования с регулируемым временем экспозиции | Челяпин, А. Е.; Бегунов, П. С.; Трофимов, Ю. В.; Жавнерко, Г. К. |
| 2013 | Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии | Титко, Е. А. |
| 2014 | Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла | Агейченко, А. С. |
| 2012 | Способ изготовления тонкопленочного конденсатора | Мозалев, А. М.; Плиговка, А. Н. |
| 2011 | Устройство для определения плоскости лучшего изображения и масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени | Агейченко, А. С.; Матюшков, В. Е. |
| 2022 | Фотолитография в глубоком ультрафиолете | Снопков, П. А. |
| 2023 | Фотолитография в глубоком ультрафиолете | Снопков, П. А. |
| 2014 | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах | Хорошко, Л. С.; Ашариф, А. М.; Ореховская, Т. И.; Меледина, М. В.; Сокол, В. А.; Колосницын, Б. С.; Гапоненко, Н. В. |
| 2025 | Электрофизические свойства структур с пленками титаната бария и оксида алюминия, сформированными золь-гель-методом на титане | Махмутов, Р. Т.; Гапоненко, Н. В.; Лашковская, Е. И.; Меледин, К. И.; Кашко, И. А.; Малышев, А. Д.; Судник, Л. В. |
