Skip navigation

Browsing by Author Ясюнас, А. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:  
Showing results 1 to 9 of 9
Issue DateTitleAuthor(s)
2018Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разрядаКовалевский, А. А.; Котов, Д. А.; Корзун, К. А.; Ясюнас, А. А.; Гранько, С. В.
2013Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.)Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А.
2013Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспонированных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.)Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А.
2010Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМСЯсюнас, А. А.; Тымощик, А. С.; Ковальчук, Н. В.; Котов, Д. А.
2014Разработка и исследование магнитных систем источников ионов, источников плазмы и магнетронных распылительных устройств : отчет о НИР (заключ.)Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Роговский, Е. П.; Савич, В. А.
2012Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М.
2015Разработка технологического комплекса и технологии формирования наноструктурированного диоксида кремния с применением плазмы высокой плотности : отчет о НИР (заключ.)Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.
2020Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособиеКотов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С.
2020Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазонаЯсюнас, А. А.