Skip navigation

Browsing by Author Тихон, О. И.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
or enter first few letters:  
Showing results 1 to 20 of 28  next >
Issue DateTitleAuthor(s)
2022Анализ методики измерения СВЧ мощности активным зондом в СВЧ плазмеКондратьева, В. А.; Тихон, О. И.
2021Анализ особенностей нагрева кремниевых пластин СВЧ энергией в объёме СВЧ резонатораБондаренко, А. С.; Тихон, О. И.
2022Анализ технологии плазменной обработки полупроводниковых структурЖаворонок, И. А.; Тихон, О. И.
2020Анализ электрических режимов работы источника постоянного тока для питания СВЧ магнетрона средней мощностиСабодаш, О. А.; Тихон, О. И.
2019Высоковольтный источник питания генератора озонаБарахоев, А. Л.; Тубольцев, В. В.; Тихон, О. И.
2022Зарядовые состояния МОП-структурЖаворонок, И. А.; Тихон, О. И.
2020Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типаМадвейко, С. И.; Тихон, О. И.; Тодин, П. А.; Бордусов, С. В.; Достанко, А. П.
2018Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленокБельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С.
2017Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2020Исследование влияния условий подачи озоно-воздушной смеси на процесс удаления фоторезиста с поверхности кремниевой пластиныТихон, О. И.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Барахоев, А. Л.; Камлач, П. В.
2022Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разрядаТихон, О. И.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.
2021Исследование влияния электрических режимов питания СВЧ магнетрона на распределение СВЧ энергии в плазме СВЧ разрядаСабодаш, О. А.; Тихон, О. И.
2020Исследование оптических характеристик СВЧ разряда в плазмотроне резонаторного типа при электропитании СВЧ магнетрона от источника постоянного токаТихон, О. И.
2017Исследование особенностей возбуждения пульсирующего комбинированного (СВЧ+НЧ поля) разрядаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2021Исследование режимов работы высоковольтного источника питания для возбуждения разряда барьерного типаБарахоев, А. Л.; Тихон, О. И.; Тубольцев, В. В.
2021Исследование режимов работы трехфазного импульсного источника питания СВЧ магнетрона на плазменную нагрузкуЖаворонок, И. А.; Тихон, О. И.
2020Исследование электрических режимов работы СВЧ магнетрона в составе плазменного технологического оборудованияТихон, О. И.
2021Исследовательский стенд для микроплазменной поверхностной обработки материалов в условиях атмосферного давленияБордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Барахоев, А. Л.; Тихон, О. И.; Моисеев, А. А.
2018Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газаТихон, О. И.
2019Исследовательский стенд для фотохимически стимулированного удаления фоторезистаТихон, О. И.