Skip navigation

Browsing by Subject магнетронное распыление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 8 to 27 of 27 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2024Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленокДостанко, А. П.; Мадвейко, С. И.; Телеш, Е. В.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.
2015Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыленияЕрмоленко, М. В.; Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.
2021Исследование влияния отжига на механические и трибологические характеристики пленок нитрида титана-цирконияЛам, Н. Н.
2014Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распыленииМельников, С. Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Достанко, А. П.; Кундас, С. П.; Тонконогов, Б. А.
2020Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 ммГолосов, А. Д.
2020Исследование электрофизических свойств пленок оксида тантала, формируемых методом магнетронного распыленияЛитвин, Э. Е.
2005Конструктивно-технологические методы формирования тонкопленочных элементов кремниевых диодов шоттки с повышенной воспроизводимостью свойств в серийном производствеСоловьев, Я. А.
2023Магнетронная распылительная система с вращающейся магнитной системой для нанесения тонких пленок на стационарную подложкуНгуен, В. Т. А.
2010Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишениКирия, Л. Т.; Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.
2016Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыленияМельников, С. Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Окоджи, Д. Э.; Рубан, Г. М.; Котинго, Д. Д.
2012Разработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней : отчет о НИР (заключ.)Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.; Руденко, М. В.
2012Разработка и исследование композиционных тонких пленок на основе легированного оксида циркония для использования в качестве твердого электролита твердооксидных топливных элементов : отчет о НИР (заключ.)Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.
2015Разработка процессов формирования функциональных тонкопленочных покрытий на полимерных подложках для изделий оптики и оптоэлектроники : отчет о НИР (заключ.)Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Гуревич, О. В.; Ковалева, А. П.; Симаньков, А. А.
2023Распределение электрофизических свойств пленок оксида циркония при реактивном магнетронном нанесении на вращающуюся подложкуНгуен, В. Т. А.; Доан, Т. Х.; Нестерчик, Р. И.
2017Реактивные методы осаждения пленок оксидов титанаЗолотухин, Д. Б.; Бурдовицин, В. А.; Тюньков, А. В.; Юшков, Ю. Г.; Окс, Е. М.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.
2020Синтез ансамбля наночастиц Co на подложках SiO2/SiПрокопюк, Е. Н.; Прищепа, С. Л.
2014Установка комбинированного магнетронно-лазерного осаждения пленочных покрытийБурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Прокопчик, К. Ю.
2019Формирование медной плёнки на стеклянной подложке с адгезией класса 5B методом магнетронного распыленияРабатуев, Г. Г.
2017Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыленияВилья, Н.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Окоджи, Д. Э.
2022Формирование термочувствительных структур на основе легированного оксида ванадия для интегральных неохлаждаемых микроболометровТо Куанг Тханг