Issue Date | Title | Author(s) |
2013 | RF MEMS Oscillator Design For integration with SOC Using Order Reduction Methods | El-Zoghbi, R. А. |
2018 | Активные элементы МЭМС на основе анодного оксида алюминия | Биран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
2023 | Активные элементы МЭМС на основе двухслойных мембранных структур | Шахвердиев, М. А.; Чернаусик, О. М.; Биран, С. А.; Короткевич, А. В. |
2011 | Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Лабунов, В. А. |
2023 | Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремния | Демидович, С. А. |
2016 | Исследование механического импульса, генерируемого при горении наноструктурированного кремния | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Высоцкий, В. Б.; Лабунов, В. А. |
2015 | Мембранные сенсорные элементы на основе анодного оксида алюминия : отчет о НИР (заключ.) | Короткевич, А. В.; Чушкова, Д. И. |
2010 | Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия | Черных, А. Г.; Кирия, Л. Т.; Ковриго, В. М.; Тымощик, А. С. |
2012 | Микромеханические приводы движения | Полищук, С. И. |
2013 | Микроэлектромеханические двигатели | Барковский, С. П. |
2017 | Миниатюрный твердотопливный реактивный двигатель и способ его изготовления | Бондаренко, В. П.; Долгий, Л. Н.; Клышко, А. А.; Чубенко, Е. Б.; Редько, С. В.; Футько, С. И.; Добрего, К. В. |
2022 | МЭМС на основе анодного оксида алюминия для применения в высокочастотных схемах | Козлов, В. С.; Цаладонов, А. Д.; Биран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
2016 | Научно исследовательская работа студентов при проведении Лабораторных работ по дисциплине МНЭМУ | Биран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
2010 | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС | Ясюнас, А. А.; Тымощик, А. С.; Ковальчук, Н. В.; Котов, Д. А. |
2015 | Разработка и исследование устройств автоматической калибровки на основе СВЧ микроэлектромеханических переключателей для широкополосных радиоизмерительных приборов и систем : отчет о НИР (заключ.) | Гусинский, А. В.; Свирид, М. С.; Кострикин, А. М.; Гонов, А. Н.; Певнева, Н. А.; Касперович, М. М.; Боровская, М. А.; Копшай, А. А.; Дубновицкая, Т. А. |
2013 | Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения | Сырцев, А. С. |
2017 | Сенсорные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия | Куцанов, А. В. |
2016 | Способ травления полупроводниковой кремниевой подложки | Баранов, И. Л.; Табулина, Л. В.; Русальская, Т. Г. |
2020 | Устройство регистрации параметров движения механических объектов на базе микроэлектромеханических датчиков | Антуневич, А. Л.; Ильев, И. Г.; Кривец, А. Ф. |