Skip navigation

Browsing by Subject ионные пучки

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 13 of 13
Issue DateTitleAuthor(s)
2021Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучкомКабак, Т. В.; Петлицкая, Т. В.
2021Анализ отказа интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучкомКабак, Т. В.
2021Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучкомКабак, Т. В.
2022Влияние параметров ионного пучка на электрофизические характеристики тонких пленок медиГутенко, Н. Д.
2025Влияние температуры подложки на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучковШевчик, Е. В.; Курбако, Е. Г.
2024Исследование влияния режимов отжига подложки GaAs(lll) на характеристики наноуглублений, формируемых фокусированными ионными пучкамиЛахина, Е. А.; Черненко, Н. Е.; Кириченко, Д. В.; Шандыба, Н. А.; Балакирев, С. В.; Солодовник, М. С.
2023Исследование состава вторичных ионных пучков меди и аргонаГутенко, Н. Д.
2025Исследования расходимости и энергетики ионного пучка сеточного источникаСивец, А. И.; Моор, К. Д.; Никитин, А. В.; Леонович, Н. В.
2025Нанесение покрытий из титана и молибдена прямым осаждением из ионного пучкаПерепечко, Е. Ю.; Гутенко, Н. Д.
2020Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучковДанилевич, Д. С.
2015Оптические характеристики тонких пленок диоксида кремния, полученных прямым осаждением из ионных пучковТелеш, Е. В.; Достанко, А. П.; Вашуров, А. Ю.
2017Свойства пленок SiO2, полученных прямым осаждением из ионных пучковСвятохо, С. В.
2025Синтез фторуглеродных покрытий из ионного пучкаРакицкий, А. А.