Skip navigation

Browsing by Author Лушакова, М. С.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:  
Showing results 1 to 20 of 22  next >
Issue DateTitleAuthor(s)
2019Investigation of method of dynamic microwave power redistribution in a resonator-type plasmatronMadveika, S. I.; Bordusov, S. V.; Zemlyakov, A. S.; Lushakova, M. S.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Земляков, А. Л.; Лушакова, М. С.
2018Investigation of method of dynamic microwave power redistribution in a resonator-type plasmatronMadveika, S. I.; Bordusov, S. V.; Zemlyakov, A.; Lushakova, M. S.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Земляков, А. Л.; Лушакова, М. С.
2019Investigation of silicon wafers' influence on the local microwave power values in a resonator-type plasmatronMadveika, S. I.; Bordusov, S. V.; Lushakova, M. S.; Tihon, O. I.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2015Investigation of the stability of microwave discharge in oxygen in a resonator type plasmatronBordusov, S. V.; Madveika, S. I.; Lushakova, M. S.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.
2015Анализ условий возбуждения свч-разряда низкого вакуума в плазмотроне резонаторного типаМадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С.
2018Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического примененияХамицевич, Е. Ю.; Лушакова, М. С.
2018Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленокБельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С.
2015Исследование влияния режимов импульсного электропитания и конструктивных особенностей на скорость нагрева верхней пластины полого катода планарного типа для тлеющего разряда с эффектом полого катодаМадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.
2015Исследование влияния режимов импульсного электропитания на величину потенциала пространства над полым катодом планарного типа в случае тлеющего разряда с эффектом полого катодаМадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.; Бордусов, С. В.
2017Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2014Исследование неоднородности электрофизических характеристик СВЧ разрядной системы резонаторного типаЛушакова, М. С.
2017Исследование особенностей возбуждения пульсирующего комбинированного (СВЧ+НЧ поля) разрядаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.
2018Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в N2 в трубчатом электродеБожко, А. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.
2017Исследование распределения СВЧ энергии в объеме разрядной камеры СВЧ плазмотронаПронина, М. И.; Земляков, А. С.; Лушакова, М. С.
2015Исследование характеристик возбуждения и поддержания плазмы низкочастотного тлеющего разряда Е-типа в среде О2Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С.
2016Материалы, технологические процессы и устройства радиоэлектронной, электронно-оптической и медицинской техники : отчет о НИР (заключ.)Достанко, А. П.; Гурский, Л. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Плебанович, В. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.; Марченков, В. А.; Завадский, С. М.; Ермоленко, М. В.; Василевич, В. П.; Коробко, А. О.
2014Оптико-спектроскопические характеристики комплексированного разряда в СВЧ плазмотроне на базе волноводно-щелевого аппликатораБордусов, С. В.; Лушакова, М. С.
2013Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разрядаЛушакова, М. С.
2017Особенности электрических режимов возбуждения разряда комбинированными (СВЧ и НЧ) полямиТихон, О. И.; Лушакова, М. С.
2017Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типаЛушакова, М. С.; Тихон, О. И.