Issue Date | Title | Author(s) |
2015 | Анализ условий возбуждения свч-разряда низкого вакуума в плазмотроне резонаторного типа | Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С. |
2018 | Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения | Хамицевич, Е. Ю.; Лушакова, М. С. |
2018 | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок | Бельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С. |
2015 | Исследование влияния режимов импульсного электропитания и конструктивных особенностей на скорость нагрева верхней пластины полого катода планарного типа для тлеющего разряда с эффектом полого катода | Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И. |
2015 | Исследование влияния режимов импульсного электропитания на величину потенциала пространства над полым катодом планарного типа в случае тлеющего разряда с эффектом полого катода | Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.; Бордусов, С. В. |
2017 | Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типа | Лушакова, М. С.; Тихон, О. И. |
2014 | Исследование неоднородности электрофизических характеристик СВЧ разрядной системы резонаторного типа | Лушакова, М. С. |
2017 | Исследование особенностей возбуждения пульсирующего комбинированного (СВЧ+НЧ поля) разряда | Лушакова, М. С.; Тихон, О. И. |
2018 | Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в N2 в трубчатом электроде | Божко, А. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С. |
2017 | Исследование распределения СВЧ энергии в объеме разрядной камеры СВЧ плазмотрона | Пронина, М. И.; Земляков, А. С.; Лушакова, М. С. |
2015 | Исследование характеристик возбуждения и поддержания плазмы низкочастотного тлеющего разряда Е-типа в среде О2 | Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С. |
2016 | Материалы, технологические процессы и устройства радиоэлектронной, электронно-оптической и медицинской техники : отчет о НИР (заключ.) | Достанко, А. П.; Гурский, Л. И.; Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Плебанович, В. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.; Марченков, В. А.; Завадский, С. М.; Ермоленко, М. В.; Василевич, В. П.; Коробко, А. О. |
2014 | Оптико-спектроскопические характеристики комплексированного разряда в СВЧ плазмотроне на базе волноводно-щелевого аппликатора | Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С. |
2013 | Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разряда | Лушакова, М. С. |
2017 | Особенности электрических режимов возбуждения разряда комбинированными (СВЧ и НЧ) полями | Тихон, О. И.; Лушакова, М. С. |
2017 | Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа | Лушакова, М. С.; Тихон, О. И. |
2018 | Технологии субмикронных структур микроэлектроники | Достанко, А. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Купо, А. Н.; Ланин, В. Л.; Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Солодуха, В. А.; Телеш, Е. В. |
2020 | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие | Бордусов, С. В.; Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Костюкевич, А. А.; Телеш, Е. В. |