Репозиторий БГУИР: Browsing DSpace

Showing results 1 to 20 of 21 next >

Issue Date	Title	Author(s)
2017	Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие	Родионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.; Ковальчук, Н. С.
2022	Влияние термической нагрузки при формировании контактов al-al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний	Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В.
2016	Диэлектрические характеристики моторных масел для силовых агрегатов, измеряемые емкостными датчиками	Батурля, И. В.; Кузьмич, А. И.; Баранов, В. В.; Петрович, В. А.; Серенков, В. Ю.; Завацкий, С. А.; Фоменко, Н. К.; Ковальчук, Н. С.
2013	Интегрированные технологии функциональных микро- и наноструктур	Достанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Ануфриев, Л. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Ковальчук, Н. С.; Коробко, А. О.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Телеш, Е. В.
2022	Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки	Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В.
2021	Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники	Достанко, А. П.; Богуш, Н. В.; Бордусов, С. В.; Василевич, В. П.; Гульпа, Д. В.; Збышинская, М. Е.; Ковальчук, Н. С.; Кузьмар, И. И.; Кушнер, Л. К.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Соловьев, Я. А.; Телеш, Е. В.; Тихон, О. И.
2018	М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур	Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.
2012	Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханнческих систем и полупроводниковых приборов	Ковальчук, Н. С.
2018	Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем	Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А.
2009	Оптимизированная конструкция датчика газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением	Рубцевич, И. И.; Ковальчук, Н. С.
2008	Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических систем	Ковальчук, Н. С.
2017	Проектирование и производство изделий электронной техники : пособие	Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Ковальчук, Н. С.; Мельников, С. Н.; Стасишина, А. М.; Ермоленко, М. В.
2018	Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"	Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.
2023	Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом	Гайшун, В. Е.; Косенок, Я. А.; Васькевич, В. В.; Тюленкова, О. И.; Борисенко, В. Е.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкий, А. Н.; Чумак, С. В.
2017	Специфика преподавания технологических дисциплин в вузе и на курсах повышения квалификации	Котов, Д. А.; Черных, А. Г.; Ковальчук, Н. С.
2020	Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие	Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С.
2024	Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме	Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.
2011	Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности»	Ануфриев, Л. П.; Достанко, А. П.; Касинский, Н. К.; Ковальчук, Н. С.; Коробко, А. О.; Ланин, В. Л.; Соловьев, Я. А.; Томаль, В. С.; Русецкий, А. М.
2021	Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки	Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шестовский, Д. В.
2018	Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика интегральных микросхем по величине пробивного напряжения при разных скоростях развертки	Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Ковальчук, Н. С.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.

Showing results 1 to 20 of 21 next >

Browsing by Author Ковальчук, Н. С.