Issue Date | Title | Author(s) |
2017 | Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие | Родионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.; Ковальчук, Н. С. |
2022 | Влияние термической нагрузки при формировании контактов al-al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
2016 | Диэлектрические характеристики моторных масел для силовых агрегатов, измеряемые емкостными датчиками | Батурля, И. В.; Кузьмич, А. И.; Баранов, В. В.; Петрович, В. А.; Серенков, В. Ю.; Завацкий, С. А.; Фоменко, Н. К.; Ковальчук, Н. С. |
2013 | Интегрированные технологии функциональных микро- и наноструктур | Достанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Ануфриев, Л. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Ковальчук, Н. С.; Коробко, А. О.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Телеш, Е. В. |
2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
2021 | Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Богуш, Н. В.; Бордусов, С. В.; Василевич, В. П.; Гульпа, Д. В.; Збышинская, М. Е.; Ковальчук, Н. С.; Кузьмар, И. И.; Кушнер, Л. К.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Соловьев, Я. А.; Телеш, Е. В.; Тихон, О. И. |
2018 | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
2012 | Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханнческих систем и полупроводниковых приборов | Ковальчук, Н. С. |
2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |
2009 | Оптимизированная конструкция датчика газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением | Рубцевич, И. И.; Ковальчук, Н. С. |
2008 | Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических систем | Ковальчук, Н. С. |
2017 | Проектирование и производство изделий электронной техники : пособие | Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Ковальчук, Н. С.; Мельников, С. Н.; Стасишина, А. М.; Ермоленко, М. В. |
2018 | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
2017 | Специфика преподавания технологических дисциплин в вузе и на курсах повышения квалификации | Котов, Д. А.; Черных, А. Г.; Ковальчук, Н. С. |
2020 | Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие | Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С. |
2011 | Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» | Ануфриев, Л. П.; Достанко, А. П.; Касинский, Н. К.; Ковальчук, Н. С.; Коробко, А. О.; Ланин, В. Л.; Соловьев, Я. А.; Томаль, В. С.; Русецкий, А. М. |
2021 | Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шестовский, Д. В. |
2018 | Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика интегральных микросхем по величине пробивного напряжения при разных скоростях развертки | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Ковальчук, Н. С.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н. |
2011 | Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники | Достанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Бордусов, С. В.; Ланин, В. Л.; Ануфриев, Л. П.; Карпович, С. В.; Жарский, В. В.; Плебанович, В. И.; Адамович, А. Л.; Грозберг, Ю. А.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Дайняк, И. В.; Ковальчук, Н. С.; Петухов, И. Б.; Телеш, Е. В.; Мадвейко, С. И. |