Showing results 1 to 20 of 25
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2017 | Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие | Родионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.; Ковальчук, Н. С. |
| 2024 | Влияние быстрой термообработки при формировании контактов алюминий-поликремний на электрические параметры КМОП микросхем | Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
| 2022 | Влияние термической нагрузки при формировании контактов al-al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
| 2016 | Диэлектрические характеристики моторных масел для силовых агрегатов, измеряемые емкостными датчиками | Батурля, И. В.; Кузьмич, А. И.; Баранов, В. В.; Петрович, В. А.; Серенков, В. Ю.; Завацкий, С. А.; Фоменко, Н. К.; Ковальчук, Н. С. |
| 2013 | Интегрированные технологии функциональных микро- и наноструктур | Достанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Ануфриев, Л. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Ковальчук, Н. С.; Коробко, А. О.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Телеш, Е. В. |
| 2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2021 | Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Богуш, Н. В.; Бордусов, С. В.; Василевич, В. П.; Гульпа, Д. В.; Збышинская, М. Е.; Ковальчук, Н. С.; Кузьмар, И. И.; Кушнер, Л. К.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Соловьев, Я. А.; Телеш, Е. В.; Тихон, О. И. |
| 2024 | Кремниевые лавинные светодиоды с внутренней модуляцией оптического сигнала для интегральной фотоники | Лазарук, С. К.; Клюцкий, А. Ю.; Долбик, А. В.; Лешок, А. А.; Ковальчук, Н. С.; Лабунов, В. А. |
| 2025 | Лавинные светодиоды на основе наноструктурированного кремния для СВЧ-диапазона частот | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Томашевич, Л. П.; Клюцкий, А. Ю.; Дудич, В. В.; Лабунов, В. А.; Ефименко, С. А.; Ковальчук, Н. С.; Кицюк, Е. П.; Рязанов, Р. М.; Басаев, А. С.; Светухин, В. В. |
| 2018 | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
| 2012 | Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханнческих систем и полупроводниковых приборов | Ковальчук, Н. С. |
| 2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |
| 2009 | Оптимизированная конструкция датчика газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением | Рубцевич, И. И.; Ковальчук, Н. С. |
| 2008 | Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических систем | Ковальчук, Н. С. |
| 2017 | Проектирование и производство изделий электронной техники : пособие | Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Ковальчук, Н. С.; Мельников, С. Н.; Стасишина, А. М.; Ермоленко, М. В. |
| 2024 | Разработка лавинных светодиодов на основе наноструктурированного кремния для гигагерцового диапазона частот | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Томашевич, Л. П.; Клюцкий, А. Ю.; Дудич, В. В.; Лабунов, В. А.; Шабуня, А. С.; Петлицкий, А. Н.; Ефименко, С. А.; Петлицкая, Т. В.; Ковальчук, Н. С.; Кицюк, Е. П.; Рязанов, Р. М.; Басаев, А. С.; Светухин, В. В. |
| 2018 | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
| 2023 | Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом | Гайшун, В. Е.; Косенок, Я. А.; Васькевич, В. В.; Тюленкова, О. И.; Борисенко, В. Е.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкий, А. Н.; Чумак, С. В. |
| 2017 | Специфика преподавания технологических дисциплин в вузе и на курсах повышения квалификации | Котов, Д. А.; Черных, А. Г.; Ковальчук, Н. С. |
| 2020 | Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие | Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С. |
