Showing results 1 to 20 of 30
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2017 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Шабалина, С. В.; Устименко, Д. С. |
| 2018 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием растро-вого электронного микроскопа в режиме наведенного тока | Солодуха ., В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Чигирь, Г. Г.; Пилипенко, В. А.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В.; Уситименко, Д. С. |
| 2018 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры мощных полевых МОSFЕТ транзисторов | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Solodukha, V. A.; Pilipenko, V. A.; Gorushko, V. A. |
| 2008 | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.; Vecher, D. V.; Pilipenko, V. A.; Gorushko, V. A.; Syakersky, V. S.; Petlitskaya, T. V. |
| 2008 | Влияние адгезии на период свободных микрокачаний маятника | Джилавдари, И. З.; Пилипенко, В. А.; Ризноокая, Н. Н.; Gilavdary, I. Z.; Pilipenko, V. A.; Riznookaya, N. N. |
| 2020 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Saladukha, V. А.; Pilipenko, V. А.; Gorushko, V. A. |
| 2017 | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А.; Жигулин, Д. В.; Петлицкая, Т. В.; Соловьев, Я. А. |
| 2020 | Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-Si | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А.; Saladukha, V. А.; Pilipenko, V. А.; Komarov, F. F.; Gorushko, V. A. |
| 2009 | Влияние лазерного геттерирования на параметры биполярных интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.; Pilipenko, V. A.; Vecher, D. V.; Gorushko, V. A.; Ponaryadov, V. V.; Syakersky, V. S.; Petlitskaya, T. V. |
| 2019 | Влияние режимов формирования силицида платины методом быстрой термообработки на параметры диодов Шоттки | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А.; Saladukha, V. А.; Pilipenko, V. А.; Gorushko, V. A.; Philipenya, V. А |
| 2020 | Влияние температуры быстрой термической обработки на электрофизические свойства пленок никеля на кремнии | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Solovjov, Ja. А.; Pilipenko, V. A. |
| 2019 | Влияние условий быстрой термической обработки на электрофизические свойства тонких пленок хрома на кремнии | Соловьев, Я. А.; Пилипенко, В. А. |
| 2020 | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Голосов, Д. А.; Емельянов, В. В.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Никитюк, Ю. В.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Пилипенко, В. А.; Плебанович, В. И.; Солодуха, В. А.; Соколов, С. И.; Телеш, Е. В.; Шершнев, Е. Б. |
| 2016 | Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Шведов, С. В.; Панфиленко, А. К.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В. |
| 2006 | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом | Джилавдари, И. З.; Емельянов, В. А.; Пилипенко, В. А.; Петлицкая, Т. В.; Gilavdary, I. Z.; Emelyanov, V. A.; Pilipenko, V. A.; Petlitskaya, T. V. |
| 2018 | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
| 2020 | Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П.; Solovjov, J. A.; Pilipenko, V. A.; Yakovlev, V. P. |
| 2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |
| 2010 | Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Шведов, В. С.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.; Pilipenko, V. A.; Ponaryadov, V. V.; Gorushko, V. A.; Shvedov, V. S.; Syakersky, V. S.; Petlitskaya, T. V. |
| 2006 | Оценка упругого натяжения поверхности материалов маятниковым методом | Джилавдари, И. З.; Пилипенко, В. А.; Какошко, Е. Ю.; Петлицкая, Т. В.; Gilavdary, I. Z.; Pilipenko, V. A.; Kakoshko, E. Y.; Petlitskaya, T. V. |
