Дата публикации | Название | Автор(ы) |
2017 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Шабалина, С. В.; Устименко, Д. С. |
2018 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием растрового электронного микроскопа в режиме наведенного тока | Солодуха ., В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Чигирь, Г. Г.; Пилипенко, В. А.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В.; Уситименко, Д. С. |
2018 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры мощных полевых МОSFЕТ транзисторов | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2008 | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2008 | Влияние адгезии на период свободных микрокачаний маятника | Джилавдари, И. З.; Пилипенко, В. А.; Ризноокая, Н. Н. |
2020 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2017 | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А.; Жигулин, Д. В.; Петлицкая, Т. В.; Соловьев, Я. А. |
2024 | Влияние быстрой термообработки при формировании контактов алюминий-поликремний на электрические параметры КМОП микросхем | Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
2020 | Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-Si | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |
2009 | Влияние лазерного геттерирования на параметры биполярных интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2019 | Влияние режимов формирования силицида платины методом быстрой термообработки на параметры диодов Шоттки | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
2024 | Влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя с рабочей стороны кремниевой пластины на электрические параметры КМОП интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Сергейчик, А. А.; Шестовский, Д. В. |
2020 | Влияние температуры быстрой термической обработки на электрофизические свойства пленок никеля на кремнии | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А. |
2022 | Влияние термической нагрузки при формировании контактов al-al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
2019 | Влияние условий быстрой термической обработки на электрофизические свойства тонких пленок хрома на кремнии | Соловьев, Я. А.; Пилипенко, В. А. |
2020 | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Голосов, Д. А.; Емельянов, В. В.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Никитюк, Ю. В.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Пилипенко, В. А.; Плебанович, В. И.; Солодуха, В. А.; Соколов, С. И.; Телеш, Е. В.; Шершнев, Е. Б. |
2016 | Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Шведов, С. В.; Панфиленко, А. К.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В. |
2006 | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом | Джилавдари, И. З.; Емельянов, В. А.; Пилипенко, В. А.; Петлицкая, Т. В. |
2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
2018 | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А. |