Showing results 1 to 20 of 25
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2017 | 3D кремниевые фотонные структуры с оптическими межсоединениями через микроканальную пластину | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Высоцкий, В. Б.; Шведов, С. В.; Солодуха, В. А.; Лабунов, В. А. |
| 2017 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Шабалина, С. В.; Устименко, Д. С. |
| 2018 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры мощных полевых МОSFЕТ транзисторов | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Solodukha, V. A.; Pilipenko, V. A.; Gorushko, V. A. |
| 2020 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Saladukha, V. А.; Pilipenko, V. А.; Gorushko, V. A. |
| 2017 | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А.; Жигулин, Д. В.; Петлицкая, Т. В.; Соловьев, Я. А. |
| 2020 | Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-Si | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А.; Saladukha, V. А.; Pilipenko, V. А.; Komarov, F. F.; Gorushko, V. A. |
| 2019 | Влияние режимов формирования силицида платины методом быстрой термообработки на параметры диодов Шоттки | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А.; Saladukha, V. А.; Pilipenko, V. А.; Gorushko, V. A.; Philipenya, V. А |
| 2015 | Высокотемпературные диоды Шоттки | Ловшенко, И. Ю.; Соловьев, Я. А.; Солодуха, В. А. |
| 2016 | Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии | Солодуха, В. А.; Белоус, А. И. |
| 2020 | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Голосов, Д. А.; Емельянов, В. В.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Никитюк, Ю. В.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Пилипенко, В. А.; Плебанович, В. И.; Солодуха, В. А.; Соколов, С. И.; Телеш, Е. В.; Шершнев, Е. Б. |
| 2014 | Интегрированные пленочные системы в твердотельных структурах диоидов Шоттки | Солодуха, В. А.; Баранов, В. В.; Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Сарычев, О. Э.; Соловьев, Я. А.; Турцевич, А. С.; Фоменко, Н. К. |
| 2016 | Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Шведов, С. В.; Панфиленко, А. К.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В. |
| 2018 | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
| 2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |
| 2016 | Оптические межсоединения между кремниевыми кристаллами на основе лавинных светоизлучающих диодов из наноструктурированного кремния | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Лабунов, В. А.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В. |
| 2017 | Повышение надежности мощных транзисторов при циклическом воздействии температуры | Волкенштейн, С. С.; Солодуха, В. А.; Соловьев, Я. А.; Керенцев, А. Ф.; Хмыль, А. А. |
| 2015 | Повышение устойчивости структур диодов Шоттки с охранным кольцом к разрядам статического электричества | Солодуха, В. А.; Ланин, В. Л.; Соловьев, Я. А. |
| 2015 | Прогнозирование максимально допустимых потенциалов разрядов статического электричества и их влияние на диоды Шоттки | Солодуха, В. А.; Ланин, В. Л.; Соловьев, Я. А. |
| 2018 | Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Solodukha, V. A.; Pilipenko, V. A.; Gorushko, V. A. |
| 2019 | Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники | Солодуха, В. А.; Saladukha, V. А.; Пилипенко, В. А.; Pilipenko, V. А.; Яковлев, В. П.; Yakovlev, V. P. |
