Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | Болометрические характеристики пленок оксида ванадия при легировании вольфрамом | То, К. Т. |
2022 | Влияние временных характеристик импульсного питания на дугообразование и стабильность процесса при реактивном магнетронном распылении | Нестерчик, Р. И. |
2018 | Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния | Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Вилья, Н.; Грехов, М. М.; Колос, В. В. |
2020 | Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия | Голосов, Д. А.; Окс, Е. М.; Бурдовицин, В. А.; Нгуен, Т. Д.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Поболь, И. Л.; Кананович, Н. А.; Тиан, К.; Лам, Н. Н. |
2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2023 | Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д. |
2022 | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Бурдовицин, В. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
2022 | Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы при реактивном магнетронном распылении металлической ванадиевой мишени на постоянном и импульсном токе | Нестерчик, Р. И. |
2021 | Структурно-фазовые характеристики пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В.; То, Т. К. |
2016 | Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении | Достанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Окоджи, Д. Э.; Котинго, Д. Д.; Рубан, Г. М. |
2017 | Формирование пленок оксида гафния методом реактивного магнетронного распыления | Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Вилья, Н. |
2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д.; Голосов, А. Д. |
2019 | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2020 | Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В. |