Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Applications of UV-LIGA and grayscale lithography for display technologies | Timoshkov, I. V.; Khanko, V. T.; Kurmashev, V. I.; Grapov, D. V.; Kostevich, A. A.; Govor, G. A.; Vetcher, A. K. |
2017 | Calculating and modeling of integrated displacement systems for precision equipment of micro- and nanoelectronics | Dainiak, I. V.; Kuznetsov, V.; Karpovich, S. E. |
2021 | Innovation ultrasonic assistant soldering in electronics | Lanin, V. L. |
2021 | Анализ механизмов нарушающих функционирование микросхем | Даниленко, А. В. |
2006 | Двухкоординатная система перемещений для сборочного оборудования производства изделий микроэлектроники | Азентани, Дау Мохамед |
2002 | Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении | Аваков, С. М. |
2021 | Оптическая система ГУФ диапазона для инспекционного микроскопа | Сербин, И. Н. |
2019 | Перспективы золь-гель технологии для нанофотоники и микроэлектроники | Гапоненко, Н. В. |
2021 | Перспективы применения одномерных фотонных кристаллов в микро- и наноэлектронике | Ларин, Т. Д. |
2002 | Построение систем перемещений на основе двухкоординатных позиционеров для гибкого автоматизированного оборудования | Степанов, С. Е. |
2000 | Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения | Межинский, Ю. С.; Mezhinsky Yu. S. |
2012 | Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники | Литвинов, Е. А. |
2007 | Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники | Агранович, А. А. |
2021 | Технология селективного реактивно-ионного травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | Емельянов, В. В. |
2005 | Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методами проекционной фотолитографии | Коробко, Ю. О. |
2022 | Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлением | Емельянов, В. В. |
2017 | Электрические характеристики твердотельного вакуумного планарного триода | Столяр, Н. Ф.; Данилюк, А. Л.; Борисенко, В. Е. |